Khi đại dịch COVID-19 tiếp tục diễn ra và nhu cầu về chip tiếp tục tăng trong các lĩnh vực từ thiết bị truyền thông, điện tử tiêu dùng đến ô tô, tình trạng thiếu chip trên toàn cầu ngày càng trầm trọng.
Chip là một phần cơ bản quan trọng của ngành công nghệ thông tin nhưng cũng là ngành mũi nhọn ảnh hưởng đến toàn bộ lĩnh vực công nghệ cao.
Việc tạo ra một con chip đơn lẻ là một quy trình phức tạp bao gồm hàng nghìn bước và mỗi giai đoạn của quy trình đều gặp nhiều khó khăn, bao gồm nhiệt độ khắc nghiệt, tiếp xúc với các hóa chất có tính xâm lấn cao và yêu cầu cực kỳ sạch sẽ. Nhựa đóng vai trò quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, nhựa chống tĩnh điện, PP, ABS, PC, PPS, vật liệu flo, PEEK và các loại nhựa khác được sử dụng rộng rãi trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Hôm nay chúng ta sẽ xem xét một số ứng dụng của PEEK trong chất bán dẫn.
Mài cơ hóa học (CMP) là một công đoạn quan trọng của quá trình sản xuất chất bán dẫn, đòi hỏi phải có quy trình kiểm soát nghiêm ngặt, quy định chặt chẽ về hình dạng bề mặt và bề mặt có chất lượng cao. Xu hướng phát triển thu nhỏ càng đặt ra các yêu cầu cao hơn về hiệu suất của quy trình, do đó yêu cầu về hiệu suất của vòng cố định CMP ngày càng cao hơn.
Vòng CMP được sử dụng để giữ tấm wafer tại chỗ trong quá trình mài. Vật liệu được lựa chọn phải tránh trầy xước và nhiễm bẩn trên bề mặt wafer. Nó thường được làm bằng PPS tiêu chuẩn.
PEEK có tính ổn định kích thước cao, dễ gia công, tính chất cơ học tốt, kháng hóa chất và chống mài mòn tốt. So với vòng PPS, vòng cố định THE CMP làm bằng PEEK có khả năng chống mài mòn cao hơn và tuổi thọ sử dụng gấp đôi, do đó giảm thời gian ngừng hoạt động và cải thiện năng suất tấm bán dẫn.
Sản xuất tấm bán dẫn là một quy trình phức tạp và đòi hỏi khắt khe, đòi hỏi phải sử dụng các phương tiện để bảo vệ, vận chuyển và lưu trữ các tấm bán dẫn, chẳng hạn như hộp chuyển bán bán dẫn mở phía trước (FOUP) và giỏ bán bán bán dẫn. Chất mang bán dẫn được chia thành các quá trình truyền dẫn chung và các quá trình axit và bazơ. Sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình làm nóng và làm mát cũng như quá trình xử lý hóa học có thể gây ra những thay đổi về kích thước của chất mang wafer, dẫn đến trầy xước hoặc nứt chip.
PEEK có thể được sử dụng để chế tạo phương tiện cho các quá trình truyền tải chung. PEEK chống tĩnh điện (PEEK ESD) thường được sử dụng. PEEK ESD có nhiều đặc tính tuyệt vời, bao gồm khả năng chống mài mòn, kháng hóa chất, ổn định kích thước, đặc tính chống tĩnh điện và lượng khí thải thấp, giúp ngăn ngừa ô nhiễm hạt và cải thiện độ tin cậy của việc xử lý, lưu trữ và vận chuyển wafer. Cải thiện độ ổn định hiệu suất của hộp chuyển wafer mở phía trước (FOUP) và giỏ hoa.
Hộp mặt nạ toàn diện
Quá trình in thạch bản sử dụng cho mặt nạ đồ họa phải được giữ sạch sẽ, che ánh sáng mọi bụi bẩn hoặc vết trầy xước làm suy giảm chất lượng hình ảnh chiếu, do đó, mặt nạ, dù trong quá trình sản xuất, gia công, vận chuyển, vận chuyển, bảo quản, đều cần tránh làm nhiễm bẩn mặt nạ và tác động của hạt do va chạm và độ sạch của mặt nạ ma sát. Khi ngành công nghiệp bán dẫn bắt đầu giới thiệu công nghệ che nắng cực tím (EUV), yêu cầu giữ cho mặt nạ EUV không bị khuyết tật càng cao hơn bao giờ hết.
Chất phóng điện PEEK ESD có độ cứng cao, ít hạt, độ sạch cao, chống tĩnh điện, chống ăn mòn hóa học, chống mài mòn, chống thủy phân, độ bền điện môi tuyệt vời và khả năng chống lại các tính năng hiệu suất bức xạ tuyệt vời, trong quá trình sản xuất, truyền tải và xử lý mặt nạ, có thể làm cho tấm mặt nạ được lưu trữ trong môi trường khử khí thấp và ô nhiễm ion thấp.
Kiểm tra chip
PEEK có tính năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, ổn định kích thước, giải phóng khí thấp, ít rơi hạt, chống ăn mòn hóa học và gia công dễ dàng, đồng thời có thể được sử dụng để kiểm tra chip, bao gồm tấm ma trận nhiệt độ cao, khe kiểm tra, bảng mạch linh hoạt, bể thử nghiệm nung trước và các đầu nối.
Ngoài ra, với sự nâng cao nhận thức về môi trường về bảo tồn năng lượng, giảm phát thải và giảm ô nhiễm nhựa, ngành bán dẫn ủng hộ sản xuất xanh, đặc biệt là nhu cầu thị trường chip rất lớn và sản xuất chip cần hộp wafer và nhu cầu linh kiện khác là rất lớn, môi trường không thể đánh giá thấp tác động.
Do đó, ngành công nghiệp bán dẫn làm sạch và tái chế các hộp bán dẫn để giảm lãng phí tài nguyên.
PEEK có mức giảm hiệu suất tối thiểu sau khi gia nhiệt nhiều lần và có thể tái chế 100%.
Thời gian đăng: 19-10-21